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水蒸气蒸馏是分离、提取样品中有效成分的重要方法之，其操作是将水蒸气通入样品体系中，有效成分伴随水蒸气蒸出，从而达到分离提纯有效成分的目的，被广泛应用于烟草、食品、药品、化工等多个行业。
现有的传统的水蒸气蒸馏装置是较为的繁琐的玻璃装置，安装困难、操作时间长、耗能量大，且存在不安全隐患等技术问题。
氟化物广泛存在于自然水体中，有色冶金、钢铁和铝加工、焦炭、玻璃、陶瓷、电子、电镀、化肥、农药厂的废水及含氟旷物的废水中常常都存在氟化物，通常采用预蒸馏的方法，水中氟化物在含高氯酸（或硫酸）的溶液中，通入水蒸气，以氟硅酸或氢氟酸形式而被蒸出。